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MEMS传感器有哪些优势?

MEMS气体传感器利用微电子和微机械加工技术,将机械结构和电子电路集成在一块硅片上,实现了传感器的小型化、智能化和多功能化。本文将详细介绍MEMS传感器的优势,并探讨其在各个领域的应用前景。

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